1、薄膜鉑電阻的特點
①可制成高阻值元件(如1000Ω),適合配用顯示儀表,使用方便,穩定可靠。
②靈敏度高,響應快,在流速為0.4m/s的水中,響應時間(τ0.5)為0.15s。
③外形尺寸小(約5mm×2mm×1.3mm),便于安裝在狹小的場所。
④可大批量自動化生產,成本低,約為同類繞線電阻價格的1/2-1/3。
⑤缺點是抗固體顆粒正面沖刷性能差。
2、薄膜鉑電阻的設備
制備的方法有真空沉積及陰極濺射法等。主要工藝流程如下:基板炎魔拋光→清洗→鉑蒸鍍或真空沉積在氧化鋁基板上→激光自動刻阻→截取單支元件→超聲熱壓焊接引線→涂玻璃釉→通電檢測與篩選。
3、薄膜鉑電阻的電阻與溫度關系
鉑熱電阻的電阻由兩部分組成:隨溫度變化的電阻RT及不隨溫度變化的剩余電阻Rt。它們的電阻與溫度的關系為:
R(T)=RT+Rt=100×{1+RT/(RT+Rt)×A×T+RT/(RT+Rt)×B×T2},公式中A和B為常數。
4、薄膜鉑電阻應用
薄膜鉑熱電阻的生產工藝成熟,產量高。適用于表面、狹小區域、快速測溫計需要高阻值元件的場合。
最近薄膜鉑熱電阻制作工藝又有所改進。把鉑研制成粉漿,采用感光平板印刷技術,將鉑附著在陶瓷基片上形成鉑膜。膜厚在2μm以內加上引線,保護釉經激光刻阻制作而成。
這種薄膜鉑熱電阻具有良好的長期穩定性。在600℃溫度下工作1000h后,其電阻變化<0.02%。
薄膜鉑熱電阻的引線隨工作溫度不同而異:
-200~150℃時,引線材質:鈀銀合金。Φ0.25mm×10mm。
-50~400℃時,引線材質:鈀銀合金。Φ0.25mm×10mm。
-50~600℃時,引線材質:鉑鎳合金。Φ0.25mm×10mm。
-60~850℃時,引線材質:鉑銠合金。Φ0.25mm×10mm。

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