實用的熱電堆可以根據用途的不同制成多種類型,包括細絲型、薄膜型、多通道型和陣列型器件等。對于紅外探測器來說,其響應率是一個重要的參數,該參數受多種因素影響,如紅外吸收效率、探測器熱導率、熱電偶對數等。其中,紅外吸收效率由吸收面積決定,面積越大,轉化紅外輻射為熱能的效率越高,從而使探測器響應率更高。

熱電堆的原理
紅外熱電堆探測器的工作原理為塞貝克效應(Seebeckeffect)。早先的紅外熱電堆探測器是利用掩膜真空鍍膜的方法,將熱電偶材料沉積到塑料或陶瓷襯底上獲得的,但器件的尺寸較大,且不易批量生產。
隨著MEMS技術的應用,出現了微機械紅外熱電堆探測器。K.D.Wise 等人,最先利用MEMS 技術于20世紀80年代初制造獲得了硅基紅外熱電堆探測器。
目前,常規的熱電堆紅外探測器采用單層MEMS(Micro electro mechanical Systems,微機電系統)的懸空結構,在襯底上包括含有多對n型硅和p型硅的熱電偶101懸空部件,熱電偶圍繞在吸熱區102外邊緣,熱電偶的冷端103與襯底相連,熱端104與吸熱區102相連。吸熱區吸收的紅外輻射傳導到熱電偶,轉化成熱電偶熱端與冷端的電勢。其中,吸熱區102采用金黑涂層、銀黑涂層以及其他的材料作為吸收材料,來提高器件的紅外吸收率。

從熱電堆紅外傳感器的俯視圖可以看出,有2對熱電偶的熱電堆探測器,被熱電偶包圍的吸熱區102占整個傳感器表面積的比例約1/4。
實際上,為了讓熱電堆探測器更敏銳地捕捉紅外信號,科研人員通常會使用包含多對熱電偶的熱電堆紅外探測器。不過,現有的結構在增加熱電偶對數時,會導致吸熱區面積縮小。這樣一來,探測器的紅外吸收能力會降低,從而影響其吸收率提高。為了解決這一問題,一些熱電堆探測器采用金黑涂層、銀黑涂層等材料作為吸收材料,以提高器件的紅外吸收率。這些措施有助于提高探測器的響應率,從而更加精準地捕獲紅外信號。但是,金黑涂層、銀黑涂層一般采用電阻加熱真空蒸鍍法制作,這種工藝與 IC(Integrated Circuit,集成電路)工藝不兼容。
熱電材料
目前用于熱電堆型非致冷紅外焦平面陣列的熱電偶有P型多晶硅和金(Au)熱電偶、Si外延層有P型擴散區和鋁(Al)熱電偶、P型(Bi1~x~Sbx)2Te3"和N型Bi1~x~Sbx薄膜熱電偶、N型和P型多晶硅熱電偶。其中N型和P型多晶硅熱電偶是當前研究得比較深也是最有前途的探測材料。
ETH的LENGGENHAGER和Baltea等人1993年報道了用N型和P型多晶硅(PS)為熱電偶的單個熱電堆紅外探測器。讀出電路由CMOS制作,獲得的靈敏度為150V/W。霍尼韋爾公司Wood等人1995年報道了120元的線陣熱電堆紅外攝像傳感器。ISI公司已將其用于成像輻射計中。日本防衛廳和日本電氣公司Kanno等人1994年報道了128×128元的熱電堆非致冷紅外焦平面陣列。用N型和P型多晶硅作熱電偶,獲得的靈敏度為1550V/W。它是目前熱電堆型非致冷紅外焦平面陣列的代表。
熱電堆的發展方向
目前熱電堆的主流生產工藝 MEM 工藝,考慮到提高探測靈敏度及微型化的需要,已經有越來越多的研究往堆疊式方向前進。如:埃賽力達(原鉑金公司)加拿大有限公司的在申請發明專利“垂直堆疊式熱電堆”,申請號2011800234244。
熱電堆的應用分析
熱電堆為實現非接觸、定點、定向測溫的電子元器件,在各種測溫環境中得到廣泛應用。
MEMS熱電堆的測溫范圍一般在-20℃-100℃之間,精度一般0.1℃-0.2℃。熱電堆技術被廣泛應用于測量物體的相對溫度,即物體與其周圍環境溫度的差值。不過,要計算得出物體的實際溫度,熱電堆自身的溫度必須經過熱敏電阻標定或電路補償。目前,熱電堆技術在民用和工業兩個領域都有重要的應用價值。在民用領域,它被廣泛應用于電子體溫計、家電(如照明、冰箱、微波爐和空調)的節能控制。而在工業領域,熱電堆技術則被應用于建筑、辦公場所的節能系統、安防設備、以及機械設備關鍵發熱部件的溫度監測和控制等方面。
體溫計
傳統體溫計采用水銀材質,價格便宜,測量準確度高,被廣泛運用于醫療和家庭領域。但是,水銀體溫計需要較長的測試時間,通常需要連續測量至少5分鐘才能獲得可靠的結果,并且還需要確保體溫計端與身體緊密接觸,否則會影響測量結果的準確性。
另外,水銀溫度計常是玻璃制的,且容易損壞并釋放出“汞”,從而對人體健康構成了巨大危害。因此,越來越多的國家已經開始禁止使用水銀體溫計。但是,不用擔心,市場上已經出現了替代性的電子體溫計,它們的價格從便宜的一元錢到高檔的幾十、上百元不等。
此外,根據測量方式的不同,電子體溫計可劃分為接觸式和非接觸式兩種。為了保障您和家人的健康,昌暉儀表制造有限公司建議使用電子體溫計。
①接觸式體溫計
使用熱電偶原理,外觀與傳統水銀溫度計類似,結構亦分為測溫端和顯示端兩部分,測溫時間大概30秒左右,精度較高,市場售價根據外觀、做工和品牌不同,一般為10-50元之間,統計淘寶平均售價為25元(統計 40個樣本)。
②非接觸式體溫計
使用熱電堆原理,測量時間僅需1-2秒,非常適合為多動的嬰兒測溫,可分為額溫計和耳溫計兩類。市場價格也較高,國外品牌(德國博朗 BRAUN)淘寶價格為310元左右(國外官方售價40美金),國產品牌價格在 100-150元之間。通過對比產品描述,國產品牌此類溫度計可能發生較大誤差,需要通過使用者對比水銀溫度計示數進行手動調整,國外品牌溫度計可靠性更高,不存在此類現象。
另有醫用熱電堆溫度計,可靠性更高,德國博朗的兩個型號售價分別為 200和250美金。熱電堆測溫對方向性要求很高,方向發生偏差對結果會有較大影響。節能型家電、建筑、辦公場所的節能系統、安防設備此類應用主要是彌補傳統熱釋電紅外傳感器的不足。
傳統PIR能夠實現動態的人體檢測,無法檢測出靜止的人。使用熱電堆可通過溫度感應檢測出靜止的人。另外,熱電堆做成陣列后,便可對整個空間溫度進行全面監控,便于打造最舒適的生活環境。
日本歐姆龍于2012年7月在日本東京國際展覽中心舉辦的“第23屆微機械/MEMS展”中推出了其制造的“熱電堆陣列感應模塊”,分為4×4 和1×8兩款,在同一個探頭內形成熱電堆陣列,配合球面透鏡,對一定區域的溫度進行監測。測溫范圍5-50℃,精度0.14℃,功耗約30毫瓦。
網上小批量(50pcs以上小批量)售價為340元/pcs(4×4)、305元/pcs(1*8),2013年度目標銷售20億日元(1.2 億人民幣)。該模塊可以直接應用于各種測溫、溫控、人體感應等電器或系統。
在工業中,機械設備的關鍵發熱部件的溫度監測和控制至關重要。為了實現精確的溫度監測和自動控制,越來越多的企業開始采用熱電堆技術。相比于普通的溫度傳感器,熱電堆不需要接觸到固定位置就可以測定一定區域內的溫度,極大地提高了檢測效率和精度。當設備出現故障時,熱電堆能夠迅速檢測到異常溫度并自動停止生產線,避免災害發生。因此,熱電堆正逐漸成為工業生產中不可或缺的重要工具。
如今,工業界對熱電堆的精度和測溫范圍有著更高的要求,而這些參數比民用熱電堆更加嚴格。由于熱電堆的測量方式是非接觸式的,只需要保持熱電堆周圍環境的溫度穩定,就可以遙控監測高溫對象,為工業生產提供一種準確、可靠且高效的解決方案。
例如MEAS(精量電子(深圳)有限公司)TSEV01型號測溫范圍可達到0℃-300℃,精度0.1℃,甚至有能夠測量高達1700℃的熱電堆傳感器。